【英文标准名称】:StandardPracticeforCalibratingaScanningSurfaceInspectionSystemUsingMonodispersePolystyreneLatexSpheresDepositedonPolishedorEpitaxialWaferSurfaces
【原文标准名称】:使用单分散聚苯乙烯乳胶球沉积在抛光或外延片表面的方法校准表面扫描检验系统的标准规范
【标准号】:ASTMF1620-1996
【标准状态】:作废
【国别】:
【发布日期】:1996
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】:F01.06
【标准类型】:(Practice)
【标准水平】:()
【中文主题词】:聚苯乙烯;校正;薄片;胶乳
【英文主题词】:Calibration-semiconductoranalysisinstrumentation;Multipointsizecalibration;Particlecounting;Particlesizecalibration;Polystyrenelatexspheres(PSL);PSL(polystyrenelatexspheres);Scanningsurfaceinspectionsystem(SSIS);Siliconsemi
【摘要】:ThisstandardwastransferredtoSEMI(www.semi.org)May20031.1Thispracticecoversthesizecalibrationofascanningsurfaceinspectionsystem(SSIS)byobservingthedistributionofmonodispersepolystyrenelatex(PSL)spheresthathavebee
【中国标准分类号】:L40
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:6P.;A4
【正文语种】: